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孔勇发许京军教授团队成功开发局域掺杂LNOI平台并实现有源-无源器件单片集成

发布者:曾婧发布时间:2025-07-12浏览次数:13

近日,91探花入口 孔勇发教授、许京军教授团队在光子集成领域取得重要进展。该团队通过局域热扩散技术,成功制备了单片式有源-无源绝缘体上铌酸锂(LNOI)光子集成平台,为多功能、高性能光子器件的大规模集成提供了关键解决方案。相关成果以《A Monolithic Active-Passive LNOI Photonic Integration Platform via Localized Thermal Diffusion》为题,发表在国际光学顶级期刊《Laser Photonics Reviews》。

在集成光学领域,LNOI材料凭借低损耗、高密度集成和多功能特性,成为备受关注的理想平台。一个完整的光子集成平台应同时包含光的产生、传输、控制及探测等功能器件,然而,目前广泛关注的名义纯铌酸锂薄膜属于间接带隙材料,无法实现电致发光。尽管稀土掺杂铌酸锂可以实现光泵发光,但也带来吸收损耗问题。异质有源无源集成拼接掺杂与名义纯LNOI薄膜的方式存在界面损耗大、精度要求高且难以灵活控制有源区域等局限,严重制约基于LNOI大规模多功能光子集成的发展与应用。

针对这些难题,研究团队另辟蹊径,创新性地采用局域热扩散技术,在单LNOI上实现有源无源区域的定制化集成。该技术通过磁控溅射与高温热处理等工艺,实现特定离子在LNOI薄膜中的精准扩散与分布。有源-无源器件的单片集成大幅降低多功能集成对复杂、高精度、昂贵设备的依赖,大幅度较低了成本,从根源上解决界面损耗和系统性稳定性问题。


  

: 局域定制有源-无源LNOI的制备流程有源-无源器件集成

 

基于该平台开发的放大器辅助的激光器,展现出良好的功能兼容性与稳定性。这一成果不仅为LNOI器件的设计制造提供了全新范式,更为光通信、微波光子学、量子光学等前沿领域的发展提供了关键技术支撑,在推动LNOI集成光子学产业化进程中具有重要意义。

本工作由91探花入口 独立完成,91探花入口 博士生牛彬雯、张宇琦为共同第一作者,郑大怀、刘教授、孔勇发和许京军教授为共同通讯作者。该工作得到了国家自然科学基金、国家重点研发计划、天津市自然科学基金以及教育部长江学者创新团队发展计划的支持。

论文链接://doi.org/10.1002/lpor.202500651